手動ステージユニット

■ ステージユニット

3軸ユニット： ＸＹθz軸ステージユニット 3軸ユニット： θzXY軸ステージユニット

4軸ユニット： ＸＹＺθz軸ステージユニット 5軸ユニット： ＸＹＺθｘθyステージユニット